Um den stabilen Betrieb der Lithographiemaschine zu gewährleisten, ist ein Kühlsystem in der Lithographiemaschine einzurichten.Das Kühlsystem der Lithographiemaschine umfasst hauptsächlich Wasserkühlung, Luftkühlung, Kältemittel, Wasserstoff und Helium und andere Methoden, von denen die Wasserkühlung der Hauptstrom ist.Das Wasserkühlsystem innerhalb der Lithographie-Maschine führt das Wasser durch den internen Heizkörper durch das Wasserrohr, nimmt die Wärme ab, wenn sie durch die internen Hochtemperaturteile fließt, und löst die Wärme durch den äußeren Heizkörper ab,Auf diese Weise wird die niedrige Temperatur innerhalb der Lithographiemaschine aufrechterhalten und der stabile Betrieb der Lithographiemaschine gewährleistet..